技術(shù)參數(shù)：
?測量范圍：1×10-5～l×l0-1Pa
?測量誤差：l×l0-4~~l×l0-1Pa中誤差<10％
?測量分辨率：10-5Pa
?漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿。
?允許環(huán)溫：0℃～55℃
?空氣濕度：<85％RH
?電源：AC220±10％